冷鏡式露點儀采用光電檢測技術，檢測出露層并測量結露時的溫度，直接顯示露點。鏡面制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷高效率和精密測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。目前上zui高精度達到±0.1℃(露點溫度)，一定的氣體濕度對應一個露點溫度；一個露點溫度對應一定的氣體濕度。因此測定氣體的露點溫度就可以測定氣體的濕度。由露點可以得到濕度，由露點和所測氣體的溫度可以得到氣體的相對濕度。露點儀直接給出的量值是露點溫度，確切地說應為“熱力學露點溫度”。世界氣象組織采用的定義是壓力為P，混合比為r的濕空氣的熱力學露點溫度Td，是指在給定的壓力下，濕空氣被水飽和時的溫度。在這個溫度下，濕空氣的飽和混合比rw等于給定的混合比r。